[发明专利]混合相板有效
| 申请号： | 200910142684.8 | 申请日： | 2009-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN101630622A | 公开（公告）日： | 2010-01-20 |
| 发明（设计）人： | R·瓦格纳;H·N·斯林杰兰;F·J·P·舒尔曼斯;P·C·蒂梅杰 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;刘春元 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及混合相板，本发明提供一种用于TEM的混合相板。根据本发明的相板类似于在其中安装Zernike相板的Boersch相板。结果，根据本发明的相板对于被散射到这样的程度以致它们从中央结构(15)外部穿过的电子而言类似于Boersch相板，而对于穿过中央结构的孔的被散射电子而言类似于Zernike相板。将本发明的相板与Zernike相板相比具有如下优点：对于散射在大角度上的电子，没有电子被箔吸收或散射，结果形成TEM的较好高分辨率性能。将本发明的相板与Boersch相板相比，对中央结构的小型化要求就不大苛刻了。 | ||
| 搜索关键词： | 混合 | ||
【主权项】：
1.一种用于粒子光学设备的相板，所述相板待由粒子束照射，所述相板包括对粒子不透明的中央结构，所述中央结构围绕用于穿过部分射束的通孔，所述中央结构被对粒子透明的区域围绕，所述中央结构被装备成在穿过通孔的部分射束和从中央结构外部穿过的部分射束之间造成相移；其特征在于：所述中央结构包括对粒子透明的箔，所述箔围绕中央通孔，所述箔被装备成在穿过通孔的部分射束和穿过箔的部分射束之间造成相移。
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