[发明专利]一种降低接触孔蚀刻后簇状缺陷的方法有效
| 申请号： | 200910131045.1 | 申请日： | 2009-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN101862736A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 初曦;曾令旭 | 申请（专利权）人： | 和舰科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/00 | 分类号： | B08B3/00;B08B3/02;B08B6/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 郑光 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出了一种降低接触孔蚀刻后簇状缺陷的方法，包括：在接触孔蚀刻后，使用氢氧化铵NH4OH与过氧化氢H2O2的混合物对基底进行清洗；沿与基底基本垂直的方向，利用原子化清洗的方法对基底再次进行清洗。其中步骤1中使用氢氧化铵NH4OH与过氧化氢H2O2的混合物进行清洗，氢氧化铵NH4OH产生的[OH-]离子蚀刻硅基底表面，使缺陷与基底表面产生轻微脱离。再利用硅基底表面和缺陷带不同的电荷，利用正负电荷排斥力将缺陷带走。随后用原子化清洗的方法再进行一次清洗。从而消除簇状缺陷。本发明能够通过氢氧化铵NH4OH+过氧化氢H2O2+原子化清洗清洗消除簇状缺陷，从而提高产品的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降低 接触 蚀刻 后簇状 缺陷 方法 | ||
【主权项】：
一种降低接触孔蚀刻后簇状缺陷的方法，包括：步骤1、在接触孔蚀刻后，使用氢氧化铵NH4OH与过氧化氢H2O2及水H2O的混合物对基底进行清洗；步骤2、沿与基底基本垂直的方向，利用原子化清洗的方法对基底再次进行清洗。
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- 2018-09-11 - 2019-06-21 - B08B3/00
- 本实用新型涉及一种清洗组件，用于向待测物反应杯中注入洗液或抽取废液，包括：针套；注液针，套设在所述针套中并与所述针套固定连接，所述注液针用于注入洗液，所述注液针的内壁面上朝向所述注液针的中心轴线方向凸出形成有多个定心凸起，及抽液针，同时穿设在所述注液针和所述针套中，所述抽液针用于抽取废液并与所述针套固定连接，所述定心凸起与所述抽液针相抵接以定位所述抽液针。注液针上的定心凸起对抽液针起到很好的定位作用，当抽液针插入反应杯中时，抽液针不会相对反应杯产生摆动，这样可以防止抽液针摆动至待测物的吸附位置附近而将其抽走，避免因待测物的损失而影响后续检测结果。
- 一种合成革清洗烘干装置-201821392394.X
- 李启安;黄华希 - 福建华夏合成革有限公司
- 2018-08-28 - 2019-06-14 - B08B3/00
- 本实用新型提供一种合成革清洗烘干装置，包括机架及设置于机架旁侧的清洗池，所述清洗池前侧具有传送合成革的输送平台，输送平台包括支撑台面及架设在支撑台面上加热辊，支撑台面上方具有与皮革上表面接触用于传送皮革压辊，加热辊内部套设有加热套管，加热套管一侧连接有热油通入管，另一侧连接有热油流出管，输送平台旁侧具有一用于储存油液的储罐，储罐经热交换器与热油通入管联通以实现对热油通入管内油液的加热进而用于提高加热辊温度，热油通入管上还具有油泵，本实用新型结构简单，能够方便实现皮革的清洗及预烘干，为后续皮革的后整理减少能耗。
- 一种单槽型环保真空金属零件清洗系统-201811557614.4
- 叶骁勇;刘小阳;赵略 - 埃弗森自动化设备(深圳)有限公司
- 2018-12-19 - 2019-06-07 - B08B3/00
- 本发明的单槽型环保真空金属零件清洗系统，包括真空容器腔体，粗储液罐，净储液罐，分馏器和精馏罐。循环管上设置有腔体回收阀﹑腔体回收备用阀﹑腔体过滤器﹑腔体回收泵﹑腔体流量计和腔体循环止回阀，真空容器腔体内的清洗液可以直接循环利用，方便简单；粗储液罐和净储液罐分别回收了粗清洗液和净清洗液，节能资源；分馏器对旧清洗液进行了提纯，向真空容器腔体循环补充，提高了资源利用率。真空容器腔体上设置有腔体真空计﹑腔体温度计﹑腔体液位计﹑腔体氧探头和腔体冲氮器，实时反映真空容器腔体内压力﹑温度﹑液位和含氧情况；真空容器腔体提供对金属件浸泡清洗﹑喷淋清洗和蒸汽清洗，配合环保溶剂清洗剂，清洗效果好，效率高。
- 一种炼油装置清洗系统-201820685494.5
- 庄锁良 - 北京乐文科技发展有限公司
- 2018-05-09 - 2019-06-07 - B08B3/00
- 本实用新型公开了一种炼油装置清洗系统，包括集水槽、清洗泵、清洗分配器、待清洗炼油装置、固液分离装置和油水分离装置，所述集水槽、清洗泵和清洗分配器通过水管依次连接，待清洗炼油装置的底端设有出水口，清洗液从待清洗炼油装置中流出依次流入固液分离装置和油水分离装置。使用该清洗系统能够方便高效的炼油装置。
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