[发明专利]无污染大面积镀制银镜的方法有效
申请号: | 200910096551.1 | 申请日: | 2009-03-06 |
公开(公告)号: | CN101544473A | 公开(公告)日: | 2009-09-30 |
发明(设计)人: | 钱苗根 | 申请(专利权)人: | 湖州金泰科技股份有限公司 |
主分类号: | C03C17/09 | 分类号: | C03C17/09;C23C14/35 |
代理公司: | 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 纪 元;赵卫康 |
地址: | 313000浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及新材料及表面技术领域,尤其涉及无污染大面积镀制银镜的方法。它包括以下步骤:设置一个中频直流复合磁控溅射装置,其包括直流平面磁控溅射银靶和可更换的中频孪生磁控溅射靶;通过直流平面磁控溅射银靶在工件表面镀制银膜;通过中频孪生磁控溅射靶在工件表面镀制化合物膜;所述工件为玻璃。本发明的方法环保,且工艺简单,所得产品寿命长。 | ||
搜索关键词: | 无污染 大面积 银镜 方法 | ||
【主权项】:
1、一种无污染大面积镀制银镜的方法,包括以下步骤:(1)设置一个中频直流复合磁控溅射装置,其包括直流平面磁控溅射银靶和可更换的中频孪生磁控溅射靶;(2)通过直流平面磁控溅射银靶在工件表面镀制银膜;(3)通过中频孪生磁控溅射靶在工件表面镀制化合物膜;所述工件为玻璃。
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