[发明专利]一种测量激光束径的系统和方法有效

专利信息
申请号: 200910080129.7 申请日: 2009-03-19
公开(公告)号: CN101839761A 公开(公告)日: 2010-09-22
发明(设计)人: 凌林;郭红莲;李兆霖;黄璐;张道中;李志远 申请(专利权)人: 中国科学院物理研究所
主分类号: G01J1/00 分类号: G01J1/00;G01B11/02
代理公司: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人: 王勇
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种测量激光束径的系统和方法,其包括:电动可变光阑、激光功率计、分析和控制装置;所述激光功率计包括功率计探头、功率计控制器;所述电动可变光阑垂直于所述激光的传输方向放置在待测量的位置处,并且所述电动可变光阑、所述功率计探头在所述激光的传输方向上沿所述激光主轴顺序放置,且所述电动可变光阑的通光孔中心对准所述激光主轴,使激光能够通过电动可变光阑的通光孔照射在所述功率计探头上;所述分析和控制装置与所述电动可变光阑电通信,接收关于电动可变光阑孔径的信息并控制所述电动可变光阑的孔径变化;所述分析和控制装置与所述功率计控制器电通信,接收所述功率计测得的激光通过功率。
搜索关键词: 一种 测量 激光束 系统 方法
【主权项】:
一种测量激光束径的系统,其特征在于,包括:电动可变光阑、激光功率计、分析和控制装置;所述激光功率计包括功率计探头、功率计控制器;所述电动可变光阑垂直于所述激光的传输方向放置在待测量的位置处,并且所述电动可变光阑、所述功率计探头在所述激光的传输方向上沿所述激光主轴顺序放置,且所述电动可变光阑的通光孔中心对准所述激光主轴,使激光能够通过电动可变光阑的通光孔照射在所述功率计探头上;所述分析和控制装置与所述电动可变光阑电通信,接收关于电动可变光阑孔径的信息并控制所述电动可变光阑的孔径变化;所述分析和控制装置与所述功率计控制器电通信,接收所述功率计测得的激光通过功率。
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