[发明专利]熔石英光栅脉冲压缩器无效

专利信息
申请号: 200910054511.0 申请日: 2009-07-08
公开(公告)号: CN101609241A 公开(公告)日: 2009-12-23
发明(设计)人: 周常河;曹红超;冯吉军;贾伟 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G02F1/35 分类号: G02F1/35;G02B5/18
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 代理人: 张泽纯
地址: 201800上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种用于800纳米波段的熔石英光栅脉冲压缩器,其特点是在一块熔石英的两面对称地刻蚀光栅而构成,该光栅的周期为720~780纳米、刻蚀深度为1.8~1.9微米,光栅的占空比为0.45~0.65。本发明压缩器在750~850纳米波长范围内TM偏振光的-1级和+1级透射衍射效率均高于90%。本发明双面对称融石英光栅脉冲压缩器由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成,取材方便,造价小,能大批量生产,具有重要的实用前景。
搜索关键词: 石英 光栅 脉冲 压缩器
【主权项】:
1、一种用于800纳米波段的熔石英光栅脉冲压缩器,其特征是在一块熔石英的两面对称地刻蚀光栅而构成,该光栅的周期为720~780纳米、刻蚀深度为1.8~1.9微米,光栅的占空比为0.45~0.65。
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