[发明专利]石英透射偏振分束光栅无效
| 申请号： | 200910054510.6 | 申请日： | 2009-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN101614836A | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | 周常河;冯吉军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/28 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于1310纳米波段的石英透射偏振分束光栅，该光栅的沟槽为正弦槽型，光栅的周期为737～780纳米、刻蚀深度为1.942～2.204微米。本发明偏振分束光栅的消光比达到8.085×103，TM偏振光0级透射衍射效率为97.76％，TE偏振光-1级透射衍射效率为97.49％；本发明石英透射光栅由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，可以低成本、大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 透射 偏振 光栅 | ||
【主权项】：
1、一种用于1310纳米波段的石英透射偏振分束光栅，其特征在于该光栅的沟槽为正弦槽型，光栅的周期为737～780纳米、刻蚀深度为1.942～2.204微米。
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