[发明专利]光栅衍射效率的测量装置和方法

摘要

一种光栅衍射效率的测量装置和方法，该装置包括单色光源、分束器、光栅旋转台、探测器、二维平移台和计算机，特点是采用第二探测器和第三探测器分别在小圆弧和大圆弧上移动探测待测光栅衍射光束L3的能量，达到了减小测量盲区和降低光学平台尺度要求的目的。采用双光路同步测量消除光源的不稳定引起的测量误差。

主权项

1、一种光栅衍射效率的测量装置，其特征在于该装置包括：单色光源(3)，沿该单色光源(3)的单色光束(L)输出方向有一分束器(4)，该分束器(4)将单色光束(L)分为第一光束(L1)和第二光束(L2)，在第一光束(L1)方向设置第一探测器(6)，在第二光束(L2)的输出方向是位于光栅旋转台上的待测光栅(5)；所述的光栅旋转台由三维平移台(10)、第一电动转台(11)、第二电动转台(12)、钢板(13)、平衡重物(14)、圆柱形支柱(15)和第二探测器(7)构成，第一电动转台(11)、所述的第二电动转台(12)和钢板(13)的中心具有圆形的轴孔，所述的圆柱形支柱(15)穿过所述的第二电动转台(12)和钢板(13)的中心具有圆形的轴孔并固定在光学平台上，所述的钢板(13)同轴地安装在第二电动转台(12)上，形成被驱动和驱动的关系，所述的圆柱形支柱(15)的顶端支撑所述的第一电动转台(11)，所述的三维平移台(10)安装在所述的第一电动转台(11)上，所述的待测光栅(5)安置在所述的三维平移台(10)上，所述钢板(13)的一端安装所述的第二探测器(7)，所述钢板(13)的另一端置放所述的平衡重物(14)；所述的待测光栅(5)的测试点位于所述的第一电动转台(11)、第二电动转台(12)、钢板(13)和圆柱形支柱(15)同一旋转轴的轴线上；一个二维平移台(16)，用于固定第三探测器(8)并带动该第三探测器(8)探测器在大圆弧上移动，该大圆弧的圆心亦位于所述的第一电动转台(11)、第二电动转台(12)、钢板(13)和圆柱形支柱(15)同一旋转轴的轴线上；一个计算机(C1)该计算机(C1)通过信号线分别与所述的单色光源(3)、第一探测器(6)、第二探测器(7)、第三探测器(8)、第一电动转台(11)、第二电动转台(12)相连。