[发明专利]质谱分析单元无效
申请号: | 200880015797.5 | 申请日: | 2008-04-14 |
公开(公告)号: | CN101680856A | 公开(公告)日: | 2010-03-24 |
发明(设计)人: | 中岛丰昭;黑川裕次郎;由利努;田中领太;吉田修尔 | 申请(专利权)人: | 株式会社爱发科 |
主分类号: | G01N27/62 | 分类号: | G01N27/62;H01J49/42;H01J41/10 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人: | 罗正云;王 琦 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 该质谱分析单元是包括对被测量气体的各质荷比的离子电流值进行检测并测量分压的质谱分析部的质谱分析单元,其进一步包括:控制部,预先保持使该质谱分析单元的特定部位的功能降低的特定气体的质荷比的记录;在通过所述质谱分析部检测出的所述特定气体的质荷比的离子电流值为规定值以上时,所述控制部输出表示所述特定部位功能降低的警告信号。 | ||
搜索关键词: | 谱分析 单元 | ||
【主权项】:
1、一种质谱分析单元,包括对被测量气体的各质荷比的离子电流值进行检测并测量分压的质谱分析部,其特征在于,所述质谱分析单元进一步包括:控制部,预先保持使该质谱分析单元的特定部位的功能降低的特定气体的质荷比的记录,在通过所述质谱分析部检测出的所述特定气体的质荷比的离子电流值为规定值以上时,所述控制部输出表示所述特定部位功能降低的警告信号。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社爱发科,未经株式会社爱发科许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200880015797.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。