[发明专利]一种使用压电陶瓷组件的杆型静电消除器

摘要

本发明涉及一种杆型静电消除器。所述消除器至少包括：一控制单元、一放电针、防止粒子在针上产生的一主插座、以及一气动体。所述控制单元包括：压电陶瓷组件，产生具有高频的高压；一感测板，测量电荷量；一压电驱动器，使压电陶瓷组件持续地产生具有高频的高压；一警报产生装置，当压电陶瓷组件操作异常时产生警报；以及一DC电源。一控制单元和一喷射插座分别与静电消除器的一气动体组合，并且所述消除器由一个或一个以上组合的气动块组成。所述消除器具有压电陶瓷组件控制单元且较旧有的具有更少的针。所述针清洁周期长，离子平衡范围低并且在远距离消除电离子是可行的。

主权项

1.一种使用压电陶瓷组件的杆型静电消除器，其中用于放电的具有高频的高压藉由压电陶瓷组件所产生，并且所述静电消除器至少包括：一控制单元，控制所述压电陶瓷型静电消除器；一放电针，藉由应用具有高频的高压执行放电；一主插座，为一反粒子探针夹具，以防止存在于所述主插座内部之内的所述放电针上产生粒子；以及一气动体，将空气提供至所述静电消除器，且所述控制单元包括：压电陶瓷组件，产生具有高频的高压；一感测板，藉由应用从所述压电陶瓷组件输出的具有高频的高压，测量产生离子的所述放电针所感应的电荷量；一压电驱动器，如果从所述感测板的感测结果判断出所述压电陶瓷组件操作正常，则藉由一感测放大器将所述感测板的输出信号放大并将该等放大信号回馈至所述压电陶瓷组件的过程，使所述压电陶瓷组件持续地产生具有高频的高压；一警报产生装置，如果从所述感测板的感测结果判断出所述压电陶瓷组件操作异常，则产生警报；以及一DC电源，用于将DC电压提供至每一个所述组件，而其特征在于一喷射插座，以放大从所述控制单元而来的气流，且所述主插座与每一所述控制单元组合，且所述主插座分别在所述静电消除器的气动体中，且所述静电消除器由一个或多个具有上述结构的气动块所组成。