[实用新型]一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉无效
申请号: | 200820178207.8 | 申请日: | 2008-11-07 |
公开(公告)号: | CN201309979Y | 公开(公告)日: | 2009-09-16 |
发明(设计)人: | 王飞;赖汝萍 | 申请(专利权)人: | 王飞 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;F27B17/00 |
代理公司: | 北京捷诚信通专利事务所 | 代理人: | 魏殿绅;庞炳良 |
地址: | 325800浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉,涉及硅单晶炉配套设备,包括料筒(7),料筒(7)设有上端外表面向内延伸的凸台(8),料筒(7)的底边内翻并卡设一硅片(6),压杆外套筒(4)两端通过上下扁钢片(9、10)固设在料筒(7)内,压杆外套筒(4)内设有可在压杆外套筒(4)内上下移动的压杆(5),压杆(5)的上端设有压杆滑轮(3),通过销轴(11)设置在上扁钢片(9)上的操纵连杆(2)的一端和压杆滑轮(3)的外表面抵接,另一端和操纵机构滑轮(1)连接。本实用新型,结构简单,能够在不开炉的条件下,连续向石英坩埚内投料,使得硅单晶炉产量和成品率增高,降低能耗和成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅单晶炉 连续 投料 装置 设有 | ||
【主权项】:
1.一种硅单晶炉连续投料装置,其特征在于:包括由圆柱形的顶部钢筒、圆柱形的中部钢筒和倒置的锥台形的底部钢筒三部分组成的料筒(7),顶部钢筒的直径比中部钢筒大,顶部钢筒的底边设有向内延伸的凸台(8),凸台(8)的内侧和中部钢筒的顶边相连,中部钢筒的底边和底部钢筒的顶边相连,底部钢筒的底边内翻并卡设一硅片(6),压杆外套筒(4)两端通过上下扁钢片(9、10)固设在料筒(7)内,压杆外套筒(4)内设有可在压杆外套筒(4)内上下移动的压杆(5),压杆(5)的上端设有压杆滑轮(3),通过销轴(11)设置在上扁钢片(9)上的操纵连杆(2)的一端和压杆滑轮(3)的外表面抵接,另一端和操纵机构滑轮(1)连接。
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