[实用新型]一种自动控制的硅片检查系统

摘要

本实用新型涉及自动控制的硅片检查系统，包括一操作台，操作台上有取送硅片的机械手、硅片盒平台、硅片表面检查机构、载物台、镜头组、抽真空装置，以及控制所述各装置的计算机系统。机械手包括水平、垂直、旋转三维动作机构，完成在某一高度下与水平运动方向成一角度的直线运动。硅片盒平台包括一曲柄连杆机构，连杆支撑一俯仰摆动的翻转板，翻转板上放置硅片盒。硅片表面检查机构设置有一可进行水平公转、俯仰摆动、自转的真空吸盘，吸盘上放置硅片。载物台包括带动上层导轨组和载物平台一起进行粗定位的下层导轨组，上层导轨组再带动载物平台进行精定位，载物台上方设置镜头组。本实用新型取送观察硅片快捷方便，并且各装置可组合应用，也可单独应用。

主权项

1、一种自动控制的硅片检查系统，其特征在于：它包括一操作台，在操作台上设置一取送硅片的机械手，一俯仰摆动的硅片盒平台，一球面运动的硅片表面检查机构，一载物台，一镜头组，一抽真空装置，以及一控制所述各装置的计算机控制系统；所述机械手包括一水平驱动机构、一垂直驱动机构、一旋转驱动机构，所述水平驱动机构为一水平电机通过水平传动装置带动一支架，所述垂直驱动机构为一固定在所述支架上的垂直电机通过垂直传动装置带动一升降架，所述升降架顶部连接一机械手的主臂，所述旋转驱动机构为一固定在所述升降架上的旋转电机通过旋转传动装置带动所述主臂，所述主臂上端连接一吸取手爪，所述主臂与吸取手爪内部设置有连通的真空气道；所述硅片盒平台包括一步进电机带动的一曲柄，曲柄上转动连接一连杆，所述连杆支撑连接一翻转板底部一端，所述翻转板底部另一端转动连接在一转轴上，所述翻转板上设置有硅片盒；所述硅片表面检查机构包括一竖直设置的转动的空心支柱，所述空心支柱下端固定一曲柄电机，所述曲柄电机输出端连接一曲柄盘，所述曲柄盘偏心活动连接一空心连杆，所述空心连杆向上穿出空心支柱后与一吸盘摆柄活动连接，所述吸盘摆柄同时枢接在所述空心支柱上，所述吸盘摆柄内部设置自转电机，自转电机带动一外露的吸盘，所述吸盘、吸盘摆柄、空心连杆之间设置有连通的真空气道；所述载物台包括一固定在所述操作台上的光学平台，光学平台分下、上两层设置有粗精度导轨组和高精度导轨组，粗精度导轨组包括由第一驱动组带动的分别沿平行的第一、第二导向装置滑动的第一、第二滑块，所述第一、第二滑块之间连接一第三导向装置，所述第三导向装置上滑设由第二驱动组驱动的第三滑块，所述第三滑块上垂向穿设一定位柱，一平行于第三导向装置滑向的压杆穿过所述第三滑块和定位柱后，两端的上方分别设置一固定在所述第一、第二滑块上的压紧部件；所述高精度导轨组包括设置在所述定位柱顶部的由第三驱动组驱动连接的第四滑块，所述第四滑块的顶部设置一与第四滑块运动方向水平垂直的由第四驱动组驱动连接的第五滑块，所述第五滑块顶部连接所述载物平台，所述载物平台上方设置固定在所述操作台上的所述镜头组。