[实用新型]具有衍射孔阵列的近场均匀照明装置

摘要

具有衍射孔阵列的近场均匀照明装置属于照明技术领域。现有技术当用照明光源在近场情况下直接照射到物体表面上时就会形成光能量按高斯分布的中心亮斑，致使光的照度不均匀。本实用新型其结构为，光源光轴垂直于衍射孔阵列所在平面；衍射孔阵列是一种衍射孔线阵或者面阵，周期排列；衍射孔半径与光源的波长属于同一数量级；衍射光在近场被照明表面上形成周期排列的爱里斑，形成准均匀的大面积近场照明区。本实用新型应用于近场均匀照明，能够观察到或者拍摄到被照明表面的真实状况。

主权项

1、一种具有衍射孔阵列的近场均匀照明装置，其特征在于，光源(1)光轴垂直于衍射孔阵列(2)所在平面；衍射孔阵列(2)是一种衍射孔(3)线阵或者面阵，按照周期d排列；衍射孔(3)半径a与光源(1)的波长λ属于同一数量级；衍射光在与衍射孔阵列(2)相距f的被照明表面(4)上形成的爱里斑(5)半径r由下式决定：r＝0.61λf/a，爱里斑(5)也按照周期d排列；相邻爱里斑(5)最小重叠部分为两个相同弓形，周期d由下式决定：d＝2(r-h)，式中h为弓形高。