[实用新型]一种SMIF防尘罩

摘要

本实用新型提供了一种SMIF防尘罩，用于防止洁净车间的尘埃落在晶圆上。该防尘罩包括前挡板、上挡板、左侧挡板和右侧挡板；前挡板与上挡板垂直连接，与左侧挡板和所述右侧挡板呈若干角度进行连接，上挡板分别与所述左侧挡板和右侧挡板垂直连接；上挡板开有若干槽口，槽口的大小与晶圆载入机的尺寸相等，若干槽口之间的间距等于SMIF晶圆载入机之间的间距；前挡板与左侧或右侧挡板的连接角度和SMIF前端的前面与SMIF前端的左面或SMIF前端的右面的连接角度相等。采用该SMIF防尘罩可有效遮盖SMIF前端的狭缝，以避免后续制程良率下降以及SMIF利用率降低问题的出现。

主权项

1、一种SMIF防尘罩，用于遮盖SMIF前端晶圆载入机之间以及SMIF前端其他与洁净车间连通的狭缝，其特征在于，所述SMIF防尘罩包括四面挡板：前挡板、上挡板、左侧挡板和右侧挡板；所述前挡板与所述上挡板垂直连接，与所述左侧挡板和所述右侧挡板呈若干角度进行连接，所述上挡板分别与所述左侧挡板和右侧挡板垂直连接；所述上挡板开有若干槽口，所述槽口的大小与所述晶圆载入机的尺寸相等，所述若干槽口之间的间距等于所述SMIF晶圆载入机之间的间距；所述前挡板与左侧挡板的连接角度和SMIF前端的前面与SMIF前端的左面的连接角度相等；所述前挡板与右侧挡板的连接角度和SMIF前端的前面与SMIF前端的右面的连接角度相等。