[实用新型]全自动气体置换装置无效
| 申请号： | 200820046802.6 | 申请日： | 2008-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN201232084Y | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | 彭燕丰 | 申请（专利权）人： | 深超光电(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/455 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所 | 代理人： | 侯来旺 |
| 地址： | 518000广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型主要涉及一种气体置换装置，尤其是指一种全自动气体置换装置；其系包含一氮气管路、压缩空气管路与一腔室，氮气管路与压缩空气管路可分别将氮气与压缩空气送入腔室中，以供腔室进行生产模式与清洁模式之用，本实用新型不但可减少制程生产的成本，又能降低维修人员的危险。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 气体 置换 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种全自动气体置换装置，包含，一腔室、一氮气管路及一压缩空气管路，其特征在于：该氮气管路连接该腔室，并将氮气送入该腔室中，以供该腔室进行生产模式；又，该压缩空气管路连接该腔室，并将压缩空气送入该腔室中，以供该腔室进行清洁模式。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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