[发明专利]检测探针卡中探针位置的装置无效
| 申请号： | 200810092679.6 | 申请日： | 2008-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN101334265A | 公开（公告）日： | 2008-12-31 |
| 发明（设计）人： | 崔时龙;丁均 | 申请（专利权）人： | 赛科隆股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/14;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海恩田旭诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 尹洪波 |
| 地址： | 韩国忠南*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种检测探针卡中的探针位置以及测量该探针与对象之间间距的装置，该装置中装有目标单元以及相机单元。该目标单元设置在安装有该探针卡的探针卡架之下，且该相机单元检测辅助的该目标单元的位置以及测量辅助的该目标单元与该对象之间的间距。该探针与对象之间的间距根据该辅助间距测得。因此，该相机首先检测该位置并且测量该目标单元的辅助间距，其次检测该位置以及测量该探针的间距，以藉此防止该探针的检测误差并且精确地测量该探针与晶片之间的该间距。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 探针 位置 装置 | ||
【主权项】：
1、一种检测探针卡中的探针位置并且测量该探针与对象之间的间距的装置，该装置包括：目标单元，其设置在安装有该探针卡的探针卡架之下；及相机单元，用于检测辅助的该目标单元的位置以及测量辅助的该目标单元与该对象之间的间距，该探针与对象之间的间距根据该辅助间距测得。
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