[发明专利]检测探针卡中探针位置的装置

权利要求书

1、一种检测探针卡中的探针位置并且测量该探针与对象之间的间距的装置，该装置包括：

目标单元，其设置在安装有该探针卡的探针卡架之下；及

相机单元，用于检测辅助的该目标单元的位置以及测量辅助的该目标单元与该对象之间的间距，该探针与对象之间的间距根据该辅助间距测得。

2、如权利要求1所述的装置，其中该相机单元包括用于检测该辅助位置、测量该辅助间距以及测量该探针位置的第一相机，以及用于测量该辅助间距以及该探针与对象之间的间距的第二相机。

3、如权利要求2所述的装置，其中该第二相机利用由该第一相机检测的该目标单元的辅助位置来测量该辅助间距，并且利用该由第一相机检测的该探针位置来测量该探针与对象之间的间距。

4、如权利要求3所述的装置，其中该第二相机检测辅助的该目标单元的位置，并且通过在该第二相机测量该探针与对象之间的间距之前由该第一相机及第二相机检测的辅助的该目标单元的位置数据之间的差值，来修改该第二相机对于该第一相机的相对位置。

5、如权利要求1、2、3或4所述的装置，其中该目标单元处于该探针卡架之下靠近该探针卡的探针的位置。

6、如权利要求5所述的装置，其中该目标单元包括：

目标盒，其位于该探针卡架之下并且在其底部具有穿透孔；及

目标块，其位于该目标盒中且经由该穿孔曝露，以使该第一相机及第二相机经由该穿孔检测该目标块。