[发明专利]磁性传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种磁性传感器及其制造方法。该磁性传感器包括多个巨磁电阻元件，每个巨磁电阻元件包括顺序层叠在所述基板上的自由层、导电层和固定层，其中该固定层通过顺序层叠第一磁性层、Ru层、第二磁性层和反铁磁层来形成，该固定层经过磁化热处理以固定其磁化方向。第一和第二磁性层的厚度磁矩互不相同，Ru层的厚度在4至10的范围。该磁化热处理被执行以维持第一和第二磁性层之间的反平行状态。为了沿三个轴方向探测磁场，一个巨磁电阻元件使用平面表面来形成，其余巨磁电阻元件使用基板上的相应斜坡来形成。根据本发明，在热处理中固定层的磁化方向可以被容易地控制。

主权项

1.一种磁性传感器的制造方法，包括步骤：形成顺序层叠在基板上的自由层、导电层和固定层以形成巨磁电阻元件，其中第一磁性层、Ru层、第二磁性层和反铁磁层顺序层叠在所述导电层上以形成所述固定层；以及执行磁化热处理，用于施加磁场到所述固定层从而固定其磁化方向，其中所述第一磁性层和所述第二磁性层被磁化，而且维持其磁化方向为反平行磁化状态。