[发明专利]开关阀及具有该开关阀的处理装置

摘要

本发明提供一种可以实现密封构件长使用寿命化的开关阀及具有该开关阀的处理装置。该开关阀(100)设置于可将内部保持真空的腔室(11)与排气装置(53、54)之间，具有连通腔室侧与排气装置侧的开口(111)的阀主体(110)、在阀主体内与开口接触或分离来打开关闭开口的阀体(120)、设置于阀体并在阀体关闭了开口时密封开口的密封构件(120b)、使阀体进退的直进移动部件(140)、设置于离开开口的位置、并供从开口离开的阀体退避的阀退避部(113b)、与使阀体在与开口对应的位置和与阀退避部对应的位置之间转动的转动部件(150)。

主权项

1.一种开关阀，该开关阀设置于腔室与对该腔室内进行真空排气的排气装置之间，该腔室可将内部保持真空，其特征在于，具有阀主体、阀体、密封构件、直进移动部件、阀退避部与转动部件，该阀主体在内部形成有连通上述腔室侧与上述排气装置侧的开口，该阀体在该阀主体内与上述开口接触分离来打开关闭开口，该密封构件设置于上述阀体，在上述阀体关闭了上述开口时密封开口，该直进移动部件使上述阀体进退，该阀退避部设置于离开上述开口的位置，供从上述开口离开的上述阀体退避，该转动部件使上述阀体在如下两个位置之间转动：一个位置为与上述开口对应的位置，另一个位置为上述阀退避部或与上述阀退避部对应的位置；上述阀体从上述开口离开时，由上述直进移动部件与转动部件将上述阀体移动到上述阀退避部。