[发明专利]制造压电促动器的方法和制造液体输送装置的方法

摘要

在振动板的上表面上在与压力腔室对应的位置处形成凹进。接着，在该凹进中填充低弹性材料，该低弹性材料具有比振动板低的弹性模量。然后，在振动板的上表面上喷洒包括压电材料粒子和载体气体的气雾，以形成压电层。这时，压电材料粒子不附着于填充在凹进中的低弹性材料的表面，因此能够只在除了低弹性材料的该表面之外的区域中形成压电层。因此，提供了一种制造压电促动器的方法，该方法能够容易地防止在通过气雾沉积方法形成压电层时在凹进的表面上形成压电层。本发明还提供制造包括该压电促动器的液体输送装置的方法。

主权项

1.一种制造压电促动器的方法，该方法包括：提供基部构件和振动板，该基部构件包括不干涉部分，该振动板在其接合表面上接合以覆盖该不干涉部分，振动板具有堆叠表面，在该堆叠表面上将振动板堆叠在基部构件上，并且堆叠表面位于与接合表面相反的一侧上；在振动板的堆叠表面中在与不干涉部分对应的位置处形成凹进；在振动板的该凹进中填充低弹性材料，该低弹性材料具有比振动板的堆叠表面的弹性模量低的弹性模量；通过将包含压电材料粒子和载体气体的气雾吹到振动板的堆叠表面上以将压电材料粒子沉积在堆叠表面的与填充在凹进中的低弹性材料的表面不同的区域上来形成压电层；并且形成布置在压电层的一个表面上的第一电极和布置在压电层的另一个表面上的第二电极。