[发明专利]电阻应变反馈式闭环二维柔性铰链工作台无效
| 申请号： | 200810072368.3 | 申请日： | 2008-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN101424879A | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | 张建寰 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B25H1/00 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 | 代理人： | 马应森;刘 勇 |
| 地址： | 361005福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 电阻应变反馈式闭环二维柔性铰链工作台，涉及一种工作台。提供一种位移精度高、定位稳定性好的电阻应变反馈式闭环二维柔性铰链工作台。设有平台座、移动平台、二维柔性铰链、压电陶瓷驱动器和电阻应变式位移传感器；移动平台设有横向移动平台和纵向移动平台，二维柔性铰链设有4个横向柔性铰链和4个纵向柔性铰链，压电陶瓷驱动器设有横向压电陶瓷驱动器和纵向压电陶瓷驱动器，电阻应变式位移传感器设有横向电阻应变式位移传感器和纵向电阻应变式位移传感器。横向电阻应变式位移传感器和纵向电阻应变式位移传感器均构成桥式输出电路。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 应变 反馈 闭环 二维 柔性 铰链 工作台 | ||
【主权项】：
1、电阻应变反馈式闭环二维柔性铰链工作台，其特征在于设有平台座、移动平台、二维柔性铰链、压电陶瓷驱动器和电阻应变式位移传感器；移动平台设有横向移动平台和纵向移动平台，二维柔性铰链设有4个横向柔性铰链和4个纵向柔性铰链，压电陶瓷驱动器设有横向压电陶瓷驱动器和纵向压电陶瓷驱动器，电阻应变式位移传感器设有横向电阻应变式位移传感器和纵向电阻应变式位移传感器；4个横向柔性铰链设于平台座与横向移动平台之间，4个纵向柔性铰链设于平台座与横向移动平台之间，横向压电陶瓷驱动器和纵向压电陶瓷驱动器分别设于平台座的横向和纵向上并顶触横向移动平台和纵向移动平台，横向电阻应变式位移传感器设有2片横向拉伸电阻应变片和2片横向压缩电阻应变片，2片横向拉伸电阻应变片和2片横向压缩电阻应变片分别设在4个横向柔性铰链上，纵向电阻应变式位移传感器设有2片纵向拉伸电阻应变片和2片纵向压缩电阻应变片，2片纵向拉伸电阻应变片和2片纵向压缩电阻应变片分别设在4个纵向柔性铰链上，2片横向拉伸电阻应变片和2片横向压缩电阻应变片构成桥式电路，2片纵向拉伸电阻应变片和2片纵向压缩电阻应变片构成桥式电路。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门大学，未经厦门大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810072368.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
