[发明专利]由粉冶纯钨材料构成的不规则零件结构的制造方法

摘要

本发明涉及一种由粉冶纯钨材料构成的不规则零件结构的制造方法，是通过以下步骤实现的：钨粉末的混合；等静压制；钨制品烧结；通过钨烧结坯热压力加工钨板、棒、块半成品；工艺退火；消除钨制品应力源加工；钨制品电脉冲加工；钨制品线切割加工；加工中心加工；轨道成型磨加工；精密磨抛光加工；本发明的有益效果是：打破了钨制品深加工领域的禁区，为钨制品的广泛运用，建立了工艺理论基础；也推动了世界半导体晶圆芯片质量的提高。

主权项

1. 一种由粉冶纯钨材料构成的不规则零件结构的制造方法，是通过以下步骤实现的：(1). 钨粉末的混合：采用V型混合器将还原钨粉末充分混合均匀，V型混合器转速为10—30转/分，混合时间为8-16小时，装料量根据V型混合器的大小而定，为V型混合器容积的2/5-3/5；(2). 等静压制：借助于高压泵的作用把流体介质压入耐高压的钢体密封容器内，高压流体的静压力直接作用在弹性模套内的粉末上，粉末体在同一时间内在各个方向上均衡地受压而获得密度分布均匀和强度高的压制件；压制压力为1000Kg/cm2-2200Kg/cm2，保压时间为30分钟-60分钟；(3). 钨制品烧结：烧结升温采用阶梯式升温工艺制度，在800℃—1000℃之间保温2小时，以去除低熔点物质和氧含量；在2200℃—2350℃保温4—8小时，烧结总时间为20小时—26小时/炉，保护气体为氢气；(4). 通过钨烧结坯热压力加工钨板、棒、块半成品；(5). 工艺退火：在氢气保护的钼丝炉内，将热压力加工的钨制品进行消除内应力退火处理，退火温度为900℃—1200℃，保温时间为2小时—4小时；(6). 消除钨制品应力源加工：在10-20倍的放大镜下，检查钨制品是否有爆边爆角，钨制品表面是否有凹坑和裂纹；(7). 钨制品电脉冲加工；(8). 钨制品线切割加工；(9). 加工中心加工：刀具路径和加工参数的选择是视工件的技术要求而定；(10). 轨道成型磨加工：根据圆弧尺寸不同，选择不同的夹具进行磨加工；(11). 精密磨抛光加工。