[发明专利]一种ECR微波等离子化学气相沉积带钢镀膜工艺及装置

摘要

一种ECR微波等离子化学气相沉积带钢镀膜工艺及装置，涉及化学镀覆领域。其带钢在空气中开卷后，经过化学前处理或者等离子前处理后，通过真空隧道和真空密封装置，进入ECR微波等离子化学气相沉积镀膜单元，通入前驱体、载气、反应气体后，发生等离子，进行镀膜；镀膜完成后，通过密封装置，进入大气，闭卷，完成整个镀膜工艺。本发明可以在钢铁真空镀膜领域中或实验室设备上采用，如真空镀膜实现工业化，更可以进一步推广使用，具有广阔的前景。

主权项

1、一种ECR微波等离子化学气相沉积带钢镀膜工艺，包括ECR微波等离子化学气相沉积，其特征是：其具体流程如下：A、将带钢在空气中开卷；B、带钢经过化学前处理或等离子前处理进行表面清洁处理；C、带钢通过真空密封装置依次通过抽气预处理单元和ECR微波等离子化学气相沉积镀膜单元；D、对ECR微波等离子化学气相沉积镀膜单元通入前驱体、载气、反应气体后，发生等离子，对带钢表面进行镀膜；E、镀膜完成后，带钢通过真空密封装置进入大气；F、带钢闭卷；G、完成整个带钢的镀膜工艺。