[发明专利]一种分布式超声引线键合质量在线检测系统无效
申请号: | 200810017383.8 | 申请日: | 2008-01-22 |
公开(公告)号: | CN101241872A | 公开(公告)日: | 2008-08-13 |
发明(设计)人: | 冯武卫;孟庆丰;詹华 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人: | 李郑建 |
地址: | 710049*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种分布式超声引线键合系统键合点质量在线检测系统,该系统由主计算机、数据库服务器和网络打印机构成的质量检测中心DTC;局域网总线和网关服务器构成的局域网;隔离放大电路、开关量转换电路、A/D转换电路、DSP(Digital Signal Processing)处理器、DSP外扩程序存储器、DSP外扩数据存储器、DSP通讯模块构成的DSP终端共同组成。本发明以超声键合系统压电换能器的输入电信号作为识别键合质量的信息载体,利用DSP终端对此电信号进行采集和预处理,并将数据经过局域网发送到质量检测中心DTC,通过运行主计算机中设置的键合质量在线诊断和检测程序,实现超声键合系统键合质量的在线检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 分布式 超声 引线 质量 在线 检测 系统 | ||
【主权项】:
1.一种分布式超声引线键合质量在线检测系统,其特征在于,该系统包括由主计算机、数据库服务器和网络打印机构成的质量诊断中心DTC;由局域网总线和网关服务器构成的局域网;以及多个DSP终端,该DSP终端上连接有超声引线键合设备;其中:DSP终端包括:一隔离放大电路,用于隔离超声引线键合系统与键合质量检测系统,防止键合系统与质量检测系统之间的相互影响,并进行信号放大,以方便后续采集系统的数据采集;一开关量转换电路,用于将键合系统参数转变为数字量,该键合系统参数主要包括键合时间、键合功率和键合压力,获取键合系统参数的目的是方便后续数据管理,作为标识设备性能参数的依据;一A/D转换电路,用于实现对隔离放大电路输出的电压、电流信号进行模数转换,并与DSP处理器数据输入端口相连,实现键合信号的采集;一DSP处理器,用于整个DSP终端的控制与运算,包括对开关量转换电路、A/D转换电路的数据读取与采集控制,同时利用DSP外扩程序存储器中的信号预处理程序对采集到的信号进行预处理,最终通过DSP网络通讯模块将数据发送到质量检测中心DTC的数据库服务器中,等待主计算机的读取与处理;一DSP系统外部程序存储器,用于存储DSP终端所要实现信号预处理程序,当由A/D转换电路获取的键合信号进入DSP处理器后,同时调用存储器中的预处理程序对信号进行处理;一DSP系统外部数据存储器,用于实现DSP处理器计算数据存储;一DSP系统通讯模块,用于DSP终端与质量检测中心DTC的通讯;超声引线键和系统产生的超声波电信号送入隔离放大电路,通过A/D转换电路与内部总线相连,超声引线键和系统产生的键和系统参数通过开关量转换电路与内部总线相连,DSP处理器、DSP系统外部数据存储器、DSP系统外部程序存储器和连接在内部总线上,其中,DSP系统通讯模块和局域网连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造