[实用新型]双材料微梁光学读出温度传感器无效
申请号: | 200720035165.8 | 申请日: | 2007-03-20 |
公开(公告)号: | CN201025457Y | 公开(公告)日: | 2008-02-20 |
发明(设计)人: | 张青川;李凯;伍小平 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | G01K5/48 | 分类号: | G01K5/48 |
代理公司: | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 | 代理人: | 何梅生 |
地址: | 230026*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 双材料微梁光学读出温度传感器,其特征是设置双材料微梁单元于感温头内,光源以其投射光束直接投射在微梁反光板上;对应于来自微梁单元中微梁反光板上的反射光束,设置反射光束光学接收器,光学接收器以微梁热变形引起的反射光偏转位置为检测信号。本实用新型采用光杠杆的原理检测双材料微梁自由端的热致转角变形,可用于精密测量环境温度的变化。 | ||
搜索关键词: | 材料 光学 读出 温度传感器 | ||
【主权项】:
1.双材料微梁光学读出温度传感器,其特征是设置双材料微梁单元(3)于感温头(4)内,光源(1)以其投射光束直接投射在微梁反光板上;对应于来自微梁单元(3)中微梁反光板上的反射光束,设置反射光束光学接收器(5),所述光学接收器(5)以微梁热变形引起的反射光偏转位置为检测信号。
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