[实用新型]高分辨率X射线像增强器视觉系统无效

专利信息
申请号: 200720032855.8 申请日: 2007-09-28
公开(公告)号: CN201083701Y 公开(公告)日: 2008-07-09
发明(设计)人: 曹捷;张国琦;麻树波 申请(专利权)人: 西安中科麦特电子技术设备有限公司
主分类号: G01N23/18 分类号: G01N23/18;G03B42/02;H05G1/64
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 代理人: 张震国
地址: 710119陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 高分辨率X射线像增强器视觉系统,由可旋转的X射线发射接收部件和三维移动的载物台组件组成。可旋转的X射线发射接收部件由X射线像增强器、X射线旋转臂、X射线源组成,载物台可做X-Y-Z三维运动。通过X射线源发射的X射线透过BGA成像在X射线像增强器上,用CCD将图象转换成视频信号用显示器观察BGA的焊点情况,通过X方向驱动电机和Y方向驱动电机驱动载物台做X-Y运动,可看到BGA的其他焊点,通过Z方向驱动电机驱动载物台做Z方向运动,可调整BGA焊点放大率及图象视场,通过旋转臂驱动电机驱动X射线旋转臂旋转,可观察BGA焊点的不同角度,从而实现了对BGA器件的焊点质量进行定性、定量检测。
搜索关键词: 高分辨率 射线 增强 视觉 系统
【主权项】:
1.高分辨率X射线像增强器视觉系统,包括支架(19)以及设置在支架(19)内的可旋转的X射线发射接收部件和三维移动的载物台,其特征在于:所说的可旋转的X射线发射接收部件包括通过旋转臂转轴(3)与支架(19)相连接的X射线旋转臂(2),在支架(19)上还设置有驱动X射线旋转臂(2)转动的旋转臂驱动电机(5),在X射线旋转臂(2)的上端和下端分别固定有X射线像增强器(1)和X射线源(4);所说的三维移动的载物台包括设置在支架(19)上的X方向运动基座(18),X方向运动基座(18)上设置有X方向驱动电机(6)、X方向丝杠(7)和X方向直线滑轨(12),在X方向直线滑轨(12)上固定有Z方向运动基座(17),该X方向驱动电机(6)通过X方向丝杠(7)驱动Z方向运动基座(17)沿X方向直线滑轨(12)运动,在Z方向运动基座(17)上固定有Z方向驱动电机(13)、Z方向驱动丝杠(14)和Z方向滑动光杠(15),在Z方向滑动光杠(15)上固定有Y方向运动基座(16),由Z方向驱动电机(13)通过Z方向驱动丝杠(14)驱动Y方向运动基座(16)沿Z方向滑动光杠(15)移动,Y方向运动基座(16)上设置有Y方向直线滑轨(11)、Y方向驱动电机(10)和Y方向驱动丝杠(9),且在Y方向直线滑轨(11)上固定有载物台(8),由Y方向驱动电机(10)通过Y方向驱动丝杠(9)驱动载物台(8)沿Y方向直线滑轨(11)移动。
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