[实用新型]一种超高真空手、气动闸板阀无效
申请号: | 200720013233.0 | 申请日: | 2007-07-11 |
公开(公告)号: | CN201053510Y | 公开(公告)日: | 2008-04-30 |
发明(设计)人: | 袁亮;郑锐;赵洪吉;张立国;张振厚;王光玉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
主分类号: | F16K3/02 | 分类号: | F16K3/02;F16K3/314;F16K31/143;F16K51/02 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人: | 许宗富;周秀梅 |
地址: | 110168辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型涉及超高真空系统中的闸板阀,具体地说是一种用于调节气体流量,切断或接通管路的超高真空手、气动闸板阀,包括上阀板、下阀板及阀体,阀体内设有阀板架,上、下阀板分别安装在阀板架的两侧,上、下阀板与阀板架相对的表面分别均布有多个水滴状凹槽,阀板架上相对应地设有个数相等的滚珠架,水滴状凹槽与滚珠架形成的空间内容置有滚珠;上、下阀板上均设有凹槽,凹槽上固接有挡杆,板簧的一端连接在挡杆上,另一端为自由端,上、下阀板通过板簧相连接;阀板架的一端设有定位轴,另一端设有轴承,四连杆机构通过轴承与阀板架相连接;四连杆机构的另一端连接有控制单元。本实用新型具有减少微尘、夹气,实现手、气动双用的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 超高 空手 气动 闸板 | ||
【主权项】:
1.一种超高真空手、气动闸板阀,其特征在于:包括上阀板(1)、下阀板(2)及阀体(5),阀体(5)内设有阀板架(3),上、下阀板(1、2)分别安装在阀板架(3)的两侧,上、下阀板(1、2)与阀板架(3)相对的表面分别均布有多个水滴状凹槽(10),阀板架(3)上相对应地设有个数相等的滚珠架(12),水滴状凹槽(10)与滚珠架(12)形成的空间内容置有滚珠;上、下阀板(1、2)上均设有凹槽(6),凹槽(6)上固接有挡杆(7),板簧(8)的一端连接在挡杆(7)上,另一端为自由端,上、下阀板(1、2)通过板簧(8)相连接;阀板架(3)的一端设有定位轴(15),另一端设有轴承(14),四连杆机构(17)通过轴承(14)与阀板架(3)相连接;四连杆机构(17)的另一端连接有控制单元(4)。
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