[实用新型]一种超高真空手、气动闸板阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及超高真空系统中的闸板阀，具体地说是一种用于调节气体流量，切断或接通管路的超高真空手、气动闸板阀。

背景技术

目前，人们普遍使用的超高真空手、气动闸板阀，其技术和性能指标等均比较落后，结构复杂，加工和装配都不方便，难以满足超高真空系统的要求。现有的超高真空闸板阀由上、下阀板、阀板架、驱动装置、阀体等组成，阀板架安装于阀体内，上、下阀板分别连接在阀板架的两侧。阀板架由厚板车成，两侧及一个表面上设有轴，轴上套有导向轴承。上、下阀板上均设有一螺杆，螺杆上连接着一片状的板簧，再由螺丝固定。另外，气动闸板阀和手动闸板阀结构又不相同。这种现有结构的超高真空闸板阀由于带有螺丝、螺杆，导向轴承又是经轴连接在阀板架上，螺丝与螺杆之间、导向轴承与轴之间会有微尘。再有，导向轴承与轴之间还会夹有气体，降低系统的真空度，特别是不能满足半导体制造业对清洁超高真空系统的要求。

实用新型内容

为了解决现有闸板阀含有微尘、夹气影响真空度等不足之处，本实用新型的目的在于提供一种减少微尘、夹气，可双用的超高真空手、气动闸板阀。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

本实用新型包括上阀板、下阀板及阀体，阀体内设有阀板架，上、下阀板分别安装在阀板架的两侧，上、下阀板与阀板架相对的表面分别均布有多个水滴状凹槽，阀板架上相对应地设有个数相等的滚珠架，水滴状凹槽与滚珠架形成的空间内容置有滚珠；上、下阀板上均设有凹槽，凹槽上固接有挡杆，板簧的一端连接在挡杆上，另一端为自由端，上、下阀板通过板簧相连接；阀板架的一端设有定位轴，另一端设有轴承，四连杆机构通过轴承与阀板架相连接；四连杆机构的另一端连接有控制单元。

其中：所述控制单元为手动，包括波纹管、手柄、丝杠及丝母，丝杠的一端固接于手柄上，另一端连接有丝母，波纹管的一端与丝母连动，另一端连接四连杆机构；手动的控制单元的壳体上开有长孔，其内容置有销轴，销轴与丝母连动，限制丝母的转动副；所述控制单元为气动，包括气缸，气缸的连杆与四连杆机构相连接；所述板簧为夹板式结构，一端分别夹在上、下阀板的挡杆上，另一端为自由端；所述阀板架的两侧及连接上阀板的一面设有导向轴承；所述上阀板内圆周壁设有密封圈；所述下阀板上均布有多个放气孔；所述阀板架上开有圆孔，滚珠架所处圆周与其同轴；滚珠架为向上开口的半球形结构。

本实用新型的优点与积极效果为：

1.减少微尘。本实用新型的上、下阀板的中部均开有两个凹槽，凹槽上分别焊有两个挡杆，板簧连接在挡杆上，避免了螺丝、螺杆连接而含有的微尘。

2.减少夹气。本实用新型的导向轴承直接安装在阀板架上，避免了因套在轴上而夹有气体。

3.实现手、气动双用。本实用新型控制单元分手动、气动两部分，可以互换。

附图说明

图1为本实用新型手动闸板阀的结构示意图；

图2为图1的左视图；

图3为图1的俯视图；

图4为本实用新型手动闸板阀的立体结构示意图；

图5为本实用新型手动闸板阀的爆炸图；

图6为本实用新型气动闸板阀的立体结构示意图；

图7为本实用新型气动闸板阀的爆炸图；

图8为本实用新型阀板架的结构示意图；

图9为本实用新型上阀板的结构示意图之一；

图10为本实用新型上阀板的结构示意图之二；

图11为本实用新型下阀板的结构示意图之一；

图12为本实用新型下阀板的结构示意图之二；

其中：1为上阀板，2为下阀板，3为阀板架，4为控制单元，5为阀体，6为矩形凹槽，7为挡杆，8为板簧，9为放气孔，10为水滴状凹槽，11为圆孔，12为滚珠架，13为导向轴承，14为轴承，15为定位轴，16为密封圈，17为四连杆机构，18为波纹管，19为手柄，20为丝杠，21为丝母，22为气缸，23为长孔，24为销轴。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详述。