[发明专利]一种振动环的生产工艺

摘要

本发明提供一种适应无连接点小圆环或者小圆片的生产工艺，工艺过程包括，设计、制版、切料、清洗、涂墨烘干、曝光、显影、固化、蚀刻、剥膜、清洗、由于采用了本发明的蚀刻工艺，解决了产品在压力冲击下的飞溅问题。而且产品不同部位腐蚀的一致性较好。由于采用了本发明的丝网托架剥膜工艺，剥膜效果良好，剥膜及脱水时可以整张进行，产品损失较少，生产出合格的产品，大大提高了良品率。

主权项

1.一种振动环生产工艺，包括设计、制版、切料、清洗、涂墨烘干、曝光、显影、固化、蚀刻、剥膜、清洗，其特征在于，包括下列步骤：(1)、设计：用CAD制图，制版按A＝T/2计算(其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度)；(2)、制版：采用光绘机制作菲林，在100倍显微镜下对位，对位偏差不超过5μm；(3)、切料：用剪板机将卷材切成板材；(4)、清洗：对板材先用清洗剂进行清洗，然后用清水清洗，再置于浓度为2-3％的稀硝酸中进行粗化，取出后依次用清水、纯水冲洗，置于纯水槽中；(5)、涂胶烘干：将材料放于旋转涂胶机中，开启旋转，在板材一面倒上25ml左右的感光胶，使感光胶在离心作用下均匀涂于材料表面，同法涂另一面，涂好后开启旋转、加热，3-4min取出；(6)、曝光：将涂胶干燥后的板材在菲林中间进行紫外线双面曝光，紫外线灯照度8-12W/cm2，曝光时间15-18s；(7)、显影坚膜：用清水作为显影液，常温显影，显影压力0.10Mpa-0.15Mpa，显影时间30-40s，显影完成后将板材放入4-6％的铬酸槽中浸泡25-30s，取出清水冲洗，再进入脱水机80-90℃脱水；(8)、固化：固化过程采用烘箱，烘箱内温度200-220℃，固化时间300s-400s；(9)、蚀刻：采用蚀刻机FeCl3液喷淋蚀刻，FeCl3液的疲劳度8-12％，将产品置于自制的丝网托架上进行蚀刻，对八个喷淋室中八个泵的上下压力重新比例分配，板材的下部压力较上部压力大0.01MPa；根据腐蚀的特点，观察其穿孔的部位，在前部未穿孔时产品互相有连接，腐蚀压力适当增大为0.09Mpa当穿孔后，使用小压力，对孔型进行细小的修正，解决了产品在压力冲击下的飞溅问题；最终确定的蚀刻压力：上部：0.09，0.09，0.09，0.08，0.07，0.06，0.05，0.04MPa；下部：0.09，0.09，0.09，0.08，0.07，0.07，0.06，0.05Mpa；温度保持43℃-47℃，蚀刻时间3-5min；(10)、剥膜：剥膜使用购置的A、B型碱性剥膜液，先将产品连同丝网托架置于500-1000毫升的A液中，下置一加热器，加热到90℃-100℃，倒入相当于A液1/3量的B液，迅速反应，待表面胶膜脱净后取出清水冲洗；(11)、清洗烘干：取出后产品连同丝网托架进入脱水机80-90℃低温烘干。