[发明专利]分体式钽坩埚及其制造方法有效
| 申请号： | 200710175320.0 | 申请日： | 2007-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN101220521A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 陈小龙;鲍慧强;王刚;王文军;李龙远;李辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B23/00;F27B14/10 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种经碳化处理的分体式Ta坩埚及其制造方法，其中本发明的分体式Ta坩埚，包括分别经碳化处理的坩埚盖、坩埚筒和圆凸台的坩埚底，圆凸台的坩埚底具有上凸台和下底座，其中坩埚筒与圆凸台坩埚底的上凸台分体进行配合。本发明分体式坩埚的各部件分别经石墨在高温下进行处理，从而获得坩埚部件表面上均为TaC的坩埚部件，由此坩埚部件配合形成的坩埚成本低廉、寿命长，易于操作，具有重要的工业应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 体式 坩埚 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.分体式Ta坩埚，包括分别经碳化处理的坩埚盖(1)、坩埚筒(2)和圆凸台的坩埚底(3)，圆凸台的坩埚底(3)具有上凸台(4)和下底座(5)，其特征在于，坩埚筒(2)与圆凸台坩埚底的上凸台(4)分体进行配合。
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