[发明专利]具有接地构件完整性指示器的等离子体处理室及其使用方法

摘要

本发明提供了用于监控在等离子体处理系统中将基板支架连接到室体的接地构件的完整性的方法和装置。在一个实施例中，提供了包括连接在基板支架和室体之间的接地通路构件的处理室。传感器定位以感应标识流过接地构件的电流的测度。在另一实施例中，监控在等离子体处理室中将基板支架连接到室体的接地构件的完整性的方法包括在处理期间监控表示流过接地构件的电流的测度，并响应超过预定阀值的测度设定标识。

主权项

1.一种处理室，包括：室体；设置在室体中的基板支架；连接在基板支架和室体之间的接地通路构件；定位以感应表示流过接地通路构件的电流的测度的传感器。