[发明专利]容器输送系统和测量容器有效
| 申请号： | 200710160103.4 | 申请日： | 2007-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN101207059A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 村田正直;前泷进 | 申请（专利权）人： | 日本阿西斯特技术株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677;B65G1/04;B65D81/20;B65D85/86 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙志湧;陆锦华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 储料器(1)包括存储FOUP(20)、多个净化单元(50)、测量FOUP(30)和堆垛机(60)。存储FOUP(20)在其中存储半导体晶片。测量FOUP(30)在其中具有流量计。净化单元(50)包括具有用于放置存储FOUP(20)的多个净化台(54)的净化搁架(51)，并且氮气被供给到放置在净化台(54)上的存储FOUP(20)中。堆垛机(60)将存储FOUP(20)输送到净化台(54)上，并且在多个净化台(54)之间输送测量FOUP(30)。 | ||
| 搜索关键词： | 容器 输送 系统 测量 | ||
【主权项】：
1.一种容器输送系统，包括：存储容器，它包括外罩和开口，该外罩形成用于存储基片的空间，该开口形成在该外罩中，用于使得气体流入该空间；多个净化单元，每一个净化单元包括净化台和气体进口，存储容器放置在净化台上，气体进口用于在存储容器被置于净化台上的情况下，通过与开口连通而使得用于净化的气流从开口进入空间中；测量容器，它包括在被置于净化台上的情况下与气体进口连通的气体通道，以及用于测量经过气体通道从气体进口流入的气体的流量的流量测量单元；和输送单元，用于将存储容器输送到净化台，并且在多个净化台之间输送测量容器。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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