[发明专利]导电图案形成装置和导电图案形成方法有效
| 申请号： | 200710138350.4 | 申请日： | 2007-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101114137A | 公开（公告）日： | 2008-01-30 |
| 发明（设计）人： | 佐野雄一朗;宫坂徹 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G03G13/10 | 分类号： | G03G13/10;G03G13/16;G03G15/10;G03G15/16;G03G9/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 将由不含树脂成分的导电性粒子形成的导电图案前体，在保持图案形状的状态下以高转印效率将图案转印到对象基板上。作为对使用导电微粒分散液在介电性薄膜体上形成的导电图案前体进行转印的方法，通过一时除去残留在刚显像后的导电图案前体上的液膜后，再在导电图案前体上再供给溶剂从而使导电性粒子图案再带电。然后采用有溶剂存在的电泳的静电转印将图案转印到对象基板上。 | ||
| 搜索关键词： | 导电 图案 形成 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.导电图案形成方法，是使用导电性材料形成任意的导电性图案的导电图案形成方法，其特征在于：一时除去在介电性薄膜体上显像的导电图案前体上的液膜，再对导电图案前体赋予液膜后，静电转印到作为对象的基板上。
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