[发明专利]石英制品和热处理装置无效
| 申请号： | 200710129216.8 | 申请日： | 2007-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101092278A | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 安倍胜彦;及川雅之;柴田哲弥;谷裕一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种石英制品，由于半导体制造装置的热处理装置的部件石英制品在加工时被铜污染，因此，在热处理装置运转时，就需要抑制对半导体基板引起的铜污染。在石英制品还没有在半导体基板的热处理中使用的阶段，将石英制品置于加热气氛中，并将含有氯化氢气体和用于提高该气体的反应性的气体例如氧气的烘焙用气体供给到该石英制品。由此，将石英制品的表面到30μm深度的铜浓度控制在20ppb以下，优选在3ppb以下。烘焙处理是在石英制品组装成热处理装置之前或组装之后进行。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 制品 热处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种石英制品，其配置在收纳半导体基板实施热处理的反应容器内、至少一部分置于反应容器内的热处理气氛中，其特征在于，该石英制品采用在石英制品的制造过程中除去被污染的铜的烘焙方法进行处理，由此使得从表面到30μm深度的铜浓度在20ppb以下，所述烘焙方法包括：将处理前的石英制品配置在反应容器内的工序；和加热反应容器，并向反应容器内供给含有氯化氢气体和用于提高该氯化氢气体的反应性的气体的烘焙用气体的工序。
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