[发明专利]双曲面反射镜的多维全场光学校验装置

摘要

本发明提供的是一种双曲面反射镜的多维全场光学校验装置。它包括准直光源、分束镜、参考臂光路、测量光路和接收装置；准直光源发出的准直光束射入分束镜，分束镜将准直光束分成两部分，反射部分经反射镜II反射后再透过分束镜作为参考光；透射部分经汇聚透镜汇聚到被测双曲面镜的部分镜面上，汇聚光线延长线相交于被测双曲面镜的一个焦点上，经被测双曲面镜反射后，汇聚到一个标准球面反射镜上，光线的延长线汇聚于球面反射镜的球心，经球面反射镜反射后，沿原路返回，再经过被测双曲面镜和汇聚透镜和半反射镜反射，作为测试光；参考光和汇聚光汇集到接收装置。本发明的装置能够对不同尺度、高反射率的双曲面反射镜表面形貌及反射率参数进行测量。

主权项

1.一种双曲面反射镜的多维全场光学校验装置，它包括准直光源、分束镜、参考光路、测量光路和接收装置；其特征是：准直光源发出的准直光束射入分束镜，分束镜将准直光束分成透射与反射两路，一路作为参考光，参考光路上设置有反射镜II组成参考臂，经反射镜II反射后再透过分束镜；另一路作为检测光，检测光路上设置有由汇聚透镜、被测双曲面镜和标准球面反射镜组成的测量臂，检测光经汇聚透镜汇聚到被测双曲面镜的部分镜面上，汇聚光线延长线相交于被测双曲面镜的一个焦点上，经被测双曲面镜反射后，汇聚到一个标准球面反射镜上，光线的延长线汇聚于球面反射镜的球心，经球面反射镜反射后，沿原路返回，再经过被测双曲面镜和汇聚透镜和半反射镜反射，作为测试光；参考光和检测光汇集到接收装置。