[发明专利]一种常压等离子带钢镀膜工艺

摘要

本发明公开了一种常压等离子带钢镀膜工艺，基板卷开卷后进入常压等离子镀膜单元；采用两个电极，其中高压电极位于钢板的上方，用阻挡层覆盖；运行的基板位于高压电极下方，基板接地或位于接地电极的上方，通过绝缘物质阻隔；通过通入有机前驱体及其载气，气体流量大于0.01sccm以及反应性气体，流量大于1sccm，在两个电极间加上交流电或直流电，频率在200Hz－20KHz之间；介电层或者绝缘层阻挡了电流，产生介电放电；介质阻挡放电产生等离子，钢板在通过等离子区域时，进行镀膜。整个工艺过程环保，可以实现多种镀膜产品；与带钢真空镀膜相比，工艺过程简单，投资低。

主权项

1.一种常压等离子带钢镀膜工艺，基板卷开卷后进入常压等离子镀膜单元；采用两个电极，其中高压电极位于钢板的上方，用阻挡层覆盖；运行的基板位于高压电极下方，基板接地或位于接地电极的上方，通过绝缘物质阻隔；通过载气通入有机前驱体，气体流量大于0.01sccm；以及反应性气体，流量大于1sccm；在两个电极间加上交流电或直流电，频率在200Hz-20KHz之间；介电层或者绝缘层阻挡了电流，产生介电放电；介质阻挡放电产生等离子，基板在通过等离子区域时，进行镀膜，基板运行速率在2～200米/分之间。