[发明专利]一种去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法有效
| 申请号： | 200710037465.4 | 申请日： | 2007-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN101245968A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 瞿丹红;吴协祥;张士仁;陈淑美 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F26B7/00 | 分类号： | F26B7/00;F26B5/16;F26B3/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法。现有的装设有热电偶且一端已经密封的石英护套中若出现水份时，很难彻底去除水份，造成热电偶使用寿命降低或测温不准的问题。本发明的去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法，其中，该石英护套的一端已密封，该方法先向石英护套中灌入有机溶剂并使石英护套中的水份溶解在该有机溶剂中，然后倒掉石英护套中的有机溶剂，最后对该石英护套进行加热以去除石英护套中残余的有机溶剂和水份。采用本发明的方法可彻底去除石英护套中的水份，避免设置在石英护套中的热电偶使用寿命降低或测温不准。 | ||
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【主权项】：
1. 一种去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法，其中，该石英护套的一端已密封，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)向石英护套中灌入有机溶剂并使石英护套中的水份溶解在该有机溶剂中；(2)倒掉石英护套中的有机溶剂；(3)对该石英护套进行加热以去除石英护套中残余的有机溶剂和水份。
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