[发明专利]光学干涉测量中分光、成像及同步移相的方法和装置

摘要

本发明公开了一种光学干涉测量中分光、成像及同步移相的方法：将激光光源输出的偏振化激光束，经扩束后得到线偏振平面光源，然后进入平面偏振光干涉系统得到测试波面与参考波面共束且偏振方向互相垂直的干涉场，此干涉场光束经过四分之一波片和组合棱镜分光系统后分成空间分布均匀、强度均匀的四束光，四束光经检偏器后投射到CCD靶面上，这样经过一次高速采样就得到四幅移相90度的干涉条纹图。同时还公开了实施该方法的装置。本发明方法和装置，原理清晰，方法简单，装置具备小型化。实现了高精度光学干涉的现场动态测量，测量过程更为简单、方便。

主权项

1、光学干涉测量中分光、成像及同步移相的方法：将激光光源输出的偏振化激光束，经扩束后得到线偏振平面光源，透过半波片后，用偏振分光棱镜分成两部分偏振方向互相垂直的线偏振光；其特征是：将其中被偏振分光棱镜反射的一部分线偏振光经过四分之一波片后投向标准参考镜，返回后再次经过四分之一波片并透射出偏振分光棱镜成为参考波面；将另一部分透射出偏振分光棱镜的线偏振光经过四分之一波片后投向被测件，返回后再次经过四分之一波片并被偏振分光棱镜反射而成为测试波面；此时，参考波面与测试波面传播方向一致但振动方向互相垂直，两者再次透过四分之一波片后形成共束的旋转方向相反的圆偏振光；将这束光经过变焦变倍系统后用组合分光棱镜分成空间分布均匀、强度均匀的四束光，四束光分别经过透光方向依次相差45度的四只检偏器后投射到一只CCD靶面上，这样经过一次高速采样就得到四幅移相90度的干涉条纹图。