[发明专利]薄膜硅光伏器件的背电极

摘要

本发明公开了一种新型的薄膜硅光伏器件的背电极。为了同时获得银和铝薄膜背电极的优点，并抑制它们的缺点，本发明采取将银和铝叠加在一起的复合型背电极，并在它们之间加入一个很薄的氧化铝膜，以防止银和铝的相互扩散。这种背电极反射率高，稳定性强，且便于在大面积的光伏模板的生产中实施。

主权项

1. 一个薄膜光伏器件，包含：a)一个透明导电的前接触层，包括透明导电氧化物；b)一个单一的p-i-n型光伏单元或者多个重叠在一起的p-i-n型光伏单元，包括基于氢化硅的p型、本征i型和n型半导体薄膜；c)一个反光的导电背电极，其特征在于：该反光的导电背电极结构依次包括：i.一个透明导电氧化物薄膜，包括铝掺杂的氧化锌；ii.一个银薄膜，其厚度小于60纳米；iii.一个氧化铝薄膜，其厚度不超过30纳米；iv.一个铝薄膜，其厚度大于120纳米。