[发明专利]检查图形的方法无效
| 申请号： | 200710003759.5 | 申请日： | 2002-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN1991343A | 公开（公告）日： | 2007-07-04 |
| 发明（设计）人： | 德罗尔·艾格尔 | 申请（专利权）人： | 奥博泰克有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01R31/28;G06T7/00;H05K3/18 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 韩宏 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 一种用于检查电路图形的方法，包括对顺序获取的电路图形的图像执行初始检查以确定在电路图形中的潜在缺陷；一旦在初始检查过程中识别到电路图形中的潜在缺陷，就中断初始检查并对包括潜在缺陷的顺序获取图像部分执行二次评估；在完成第二检查后，恢复初始检查。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 图形 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于检查电路的方法，包括：形成待被检查的电路的轮廓表示；初始地检查在所述轮廓表示的若干轮廓上的若干位置以在所述若干位置中定位具有第一缺陷可能性的第一多个位置；及在所述初始地检查期间，一旦在所述第一多个位置中识别轮廓上的位置时，在完成所述初始地检查之前，对所述第一多个位置进行第二阶段检查，以确定所述第一多个位置中哪个构成具有大于所述第一缺陷可能性的第二缺陷可能性的第二多个位置。
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