[实用新型]一种用于单晶炉的柔性水冷金属电极无效
申请号: | 200620167587.6 | 申请日: | 2006-12-20 |
公开(公告)号: | CN200985368Y | 公开(公告)日: | 2007-12-05 |
发明(设计)人: | 屠海令;张峰燚;冯德伸;苏小平;杨海 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院;北京国晶辉红外光学科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;H05B3/03 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 胡福恒 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种用于单晶炉的柔性水冷金属电极,它包括有水冷铜管电极、不锈钢电极夹头、铜密封套,所述的水冷铜管电极的下部与不锈钢电极夹头进行焊接,并形成水冷循环,所述的水冷铜管电极的上部穿过铜密封套,并与铜密封套进行密封焊接。所述的水冷铜管电极是一根完整的水冷铜管,该水冷铜管穿过所述的不锈钢电极夹头后,再穿回不锈钢电极夹头形成水冷循环。由于水冷铜管具有塑性变形能力,可以在外力作用下产生适当的形变,从而可以比较方便地在一定范围内移动不锈钢电极夹头的位置,从而改变不锈钢电极和石墨电极与加热器的连接点的位置。有利于消除加工、装配和时效变形等因素造成的误差,有利于精确的固定加热器,从而获得良好热场。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶炉 柔性 水冷 金属电极 | ||
【主权项】:
1、一种用于单晶炉的柔性水冷金属电极,其特征在于:它包括有水冷铜管电极、不锈钢电极夹头、铜密封套,所述的水冷铜管电极的下端与不锈钢电极夹头进行焊接,并形成水冷循环,所述的水冷铜管电极的上部穿过铜密封套,并与铜密封套进行密封焊接。
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