[实用新型]干涉仪装置

摘要

本实用新型所提的干涉仪装置，具有XYZ轴调节单元，该Z轴调节单元置于干涉仪的主体1之外，包括有一Z轴调节单元底座4，复数个Z轴导杆41，一Z轴调节螺杆42，一Z轴调节螺母43；复数个Z轴导杆41的一端固定于XY轴调节单元11(12)上，另一端穿过具有长轴承组件的Z轴调节单元底座4，该底座4通过紧固螺丝固定于干涉仪本体1上，Z轴调节螺杆42通过紧固螺丝固定于Z轴调节单元底座4上，Z轴调节螺母43套于Z轴调节螺杆42上；Z轴调节螺杆42与XY轴调节单元11(12)互不接触，Z轴调节螺母43的部分置于XY轴调节单元下面，并互相接触。Z轴调节螺母43转动时，同时可以带动XY轴调节单元一起在Z轴方向进行位移移动，可以检测不同曲率的镜片，并使得镜片检测时间大大减短，提高检测效率。

主权项

1、一种干涉仪装置，其包括一被测镜片，一X轴调节单元，用来调整镜片在X轴方向的位移，一Y轴调节单元，用来调整镜片在Y轴方向的位移，XY轴调节单元整合在一起，一Z轴调节单元，用来调整镜片在Z轴方向的位移，一基准镜片，一被测镜片支座，用来放置被测镜片，以及一主体，该主体内包括有干涉仪所需的一般光学系统单元，其特征在于：该干涉仪的Z轴调节单元置于干涉仪的主体之外，该Z轴调节单元包括一Z轴调节单元底座，复数个Z轴导杆，一Z轴调节螺杆，一Z轴调节螺母以及使Z轴调节单元组合在一起复数个螺丝；复数个Z轴导杆的一端固定于XY轴调节单元上，另一端穿过具有长轴承组件的Z轴调节单元底座；该底座通过紧固螺丝固定于干涉仪本体上，Z轴调节螺杆通过紧固螺丝固定于Z轴调节单元底座上，Z轴调节螺母套于Z轴调节螺杆上；Z轴调节螺杆与XY轴调节单元互不接触，Z轴调节螺母的部分置于XY轴调节单元下面，并接触。