[实用新型]真空镀膜用旋转掩膜装置

摘要

一种真空镀膜用旋转掩膜装置包括基片架、掩膜板，基片架上开有放置所需镀膜基片用的基片槽，基片架套在转轴上，转轴的一端端部与掩膜板固接，掩膜板上设有定位孔和挡板，挡板可遮盖基片架上的基片槽，转轴上还套有固定钢柱，固定钢柱与基片架固定在一起，转轴与固定钢柱之间设有滚珠，使转轴可在固定钢柱内转动，固定钢柱上设轴向的通孔，通孔的位置与掩膜板上的定位孔相匹配，固定钢柱与掩膜板之间设有定位圆珠，定位圆珠卡在定位孔与固定钢柱的通孔间，通孔的另一端设置紧固螺栓，通孔内放置弹簧，紧固螺栓使通孔内的弹簧挤压定位圆珠。本实用新型的真空镀膜用旋转掩膜装置具有手感强、操作简便，不影响真空度及制造方便的特点。

主权项

1、一种真空镀膜用旋转掩膜装置包括基片架(1)、掩膜板(3)，其特征在于：基片架(1)上开有放置所需镀膜基片用的基片槽(2)，基片架(1)套在转轴(6)上，转轴(6)的一端端部与掩膜板(3)固接，掩膜板(3)上设有定位孔(7)和挡板(11)，挡板(11)可遮盖基片架(1)上的基片槽(2)，转轴(6)上还套有固定钢柱(4)，固定钢柱(4)与基片架(1)固定在一起，转轴(6)与固定钢柱(4)之间设有滚珠，固定钢柱(4)上设轴向的通孔(5)，通孔(5)的位置与掩膜板(3)上的定位孔(7)相匹配，固定钢柱(4)与掩膜板(3)之间设有定位圆珠(8)，定位圆珠(8)卡在定位孔(7)与固定钢柱(4)的通孔(5)间，通孔(5)的另一端设置紧固螺栓(10)。