[发明专利]扫描型电子显微镜及缺陷检测装置有效
| 申请号： | 200610156779.1 | 申请日： | 2006-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN101022075A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 立花一郎;佐藤贡;深田敦子;铃木直正;福田宗行 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/244;G01N23/225;G01N13/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种扫描型电子显微镜，其中，施加用于使一次电子束加速的正电压，并且在物镜的上部配置电场屏蔽板、或磁场屏蔽板、或电磁场屏蔽板。利用具有这样的构造的扫描型电子显微镜获得试样像。由此可提供具有获得试样表面的高分辨率且高对比度的凹凸像的特征的扫描型电子显微镜。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种扫描型电子显微镜，其中具有：电子源，产生一次电子束；物镜，使所述一次电子束汇聚到试样上；导体板，用于使从所述试样产生的10eV以上的高能量的信号电子撞击到其上；两个检测器，检测从所述导体板产生的二次电子；加速电场产生机构，在所述物镜与所述导体板之间产生用于使所述信号电子加速的加速电场；和屏蔽板，配置在所述物镜的上侧。
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