[发明专利]薄膜图案层及其制造方法无效
申请号: | 200610149773.1 | 申请日: | 2006-11-27 |
公开(公告)号: | CN101191857A | 公开(公告)日: | 2008-06-04 |
发明(设计)人: | 周景瑜;陈文卿 | 申请(专利权)人: | ICF科技有限公司 |
主分类号: | G02B5/23 | 分类号: | G02B5/23;B41J2/01;G03F7/20 |
代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周春发 |
地址: | 美国加州圣塔*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及一种薄膜图案层,其包括:一个基板;形成于基板上的多个挡墙,该多个挡墙间形成多个收容空间;及多个形成在收容空间内的薄膜层,其中,每行中的薄膜层厚度的分布是无规律的。所述的薄膜图案层,通过每行中同种材料的薄膜层厚度的无规律分布,使该行中同种材料的薄膜层厚度均匀性被打乱,变得不均匀,从而使光透过其后所产生的条纹缺陷减少或消除。本发明还提供一种薄膜图案层的制造方法。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 图案 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜图案层,包括:一个基板;形成于基板上的多个挡墙,该多个挡墙间形成多个收容空间,该收容空间呈行列状排列;及多个形成在收容空间内的薄膜层;其特征在于:每行中的薄膜层厚度的分布是无规律的。
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