[发明专利]高频等离子体源装置有效
| 申请号： | 200610130989.3 | 申请日： | 2006-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN101056495A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·基希迈尔;米夏埃多·格吕克;克里斯托夫·格哈特;埃克哈德·曼;克里斯托夫·霍夫施泰特尔;格尔德·欣茨 | 申请（专利权）人： | 许廷格电子两合公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05H1/30 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 曾立 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于控制和/或调节一个高频等离子体源装置(1、21)的输出功率的方法，包括：a.分别通过一个高频发生器(6、7、24－26)产生至少一个第一和一个第二高频功率信号；b.根据高频功率信号的相位和/或电平，将至少两个高频功率信号耦合为一个已耦合高频功率；c.使已耦合高频功率分成一个输送到等离子体负载(2)的等离子体功率和一个输送到补偿负载(10、32)的补偿功率；d.这样控制和/或调节高频功率信号的电平和/或相位，即，对于在预给定的下功率极限与预给定的额定功率之间范围内的等离子体功率，已耦合高频功率的一个非主要部分构成补偿功率，而对于在预给定的下功率极限以下的等离子体功率，已耦合高频功率的一个主要部分构成补偿功率。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于控制和/或调节一个高频等离子体源装置(1、21)的输出功率的方法，包括以下方法步骤：a.分别通过一个高频发生器(6、7、24-26)产生至少一个第一和一个第二高频功率信号；b.根据这些高频功率信号的相位和/或电平，将至少两个高频功率信号耦合为一个已耦合高频功率；c.使已耦合高频功率分成一个输送到等离子体负载(2)的等离子体功率和一个输送到补偿负载(10、32)的补偿功率；其特征在于，d.这样控制和/或调节高频功率信号的电平和/或相位，即，对于在预给定的下功率极限与预给定的额定功率之间范围内的等离子体功率，已耦合高频功率的一个非主要部分是补偿功率，而对于在给定的下功率极限以下的等离子体功率，已耦合高频功率的一个主要部分是补偿功率。
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