[发明专利]内嵌镍丝双菱型结构加热式驱动SU－8基体微钳无效
| 申请号： | 200610116620.7 | 申请日： | 2006-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1931529A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;张忠榕;陈文元 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B25J7/00 | 分类号： | B25J7/00;B25J15/00 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;张宗明 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种微机电技术领域的内嵌镍丝双菱型结构加热式驱动SU－8基体微钳。本发明包括：SU－8主体外框架、内层上菱形SU－8腔体、双菱型镍丝、内层下菱形SU－8腔体、SU－8主体与基底连接座。SU－8主体外框架由带锯齿状结构的梯形右钳体、右上柔性凹槽结构、双菱形外框、左上柔性凹槽结构、带锯齿状结构的梯形左钳体、左下柔性凹槽结构、主体支撑座、右下柔性凹槽结构依次按逆时针次序相连构成；双菱型镍丝由双菱型镍丝上卡座、上菱型镍丝腔体、双菱型镍丝上下连接体、下菱型镍丝腔体、双菱型镍丝下卡座依次按逆时针次序相连构成。本发明具有结构新颖、安全可靠、热驱动以及操作方法简单的优点，具有冷却后自动复位的可重复操作的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 内嵌镍丝双菱型 结构 加热 驱动 su 基体 | ||
【主权项】：
1.一种内嵌镍丝双菱型结构加热式驱动SU-8基体微钳，包括：SU-8主体外框架(1)、内层上菱形SU-8腔体(2)、双菱型镍丝(3)、内层下菱形SU-8腔体(4)、SU-8主体与基底连接座(5)，其特征在于：所述SU-8主体外框架(1)由带锯齿状结构的梯形右钳体(6)、右上柔性凹槽结构(7)、双菱形外框(8)、左上柔性凹槽结构(9)、带锯齿状结构的梯形左钳体(10)、左下柔性凹槽结构(11)、主体支撑座(12)、右下柔性凹槽结构(13)依次按逆时针次序相连构成，SU-8主体外框架(1)通过SU-8主体与基底连接座(5)黏附在基底上，SU-8主体与基底连接座(5)通过主体支撑座(12)与SU-8主体外框架(1)相连，内层上菱形SU-8腔体(2)、内层下菱形SU-8腔体(4)通过双菱型镍丝(3)与SU-8主体外框架(1)相连；所述双菱型镍丝(3)由双菱型镍丝上卡座(14)、上菱型镍丝腔体(15)、双菱型镍丝上下连接体(16)、下菱型镍丝腔体(17)、双菱型镍丝下卡座(18)依次按逆时针次序相连构成，双菱形镍丝(3)通过双菱型镍丝上卡座(14)、双菱型镍丝下卡座(18)内嵌在SU-8主体外框架(1)的双菱形外框(8)；所述内层上菱形SU-8腔体(2)包括：内层上菱形SU-8腔体右卡槽(19)、内层上菱形SU-8主体结构(20)，连接关系为：内层上菱形SU-8腔体(2)通过内层上菱形SU-8腔体右卡槽(19)内嵌在上菱形镍丝腔体(15)；所述内层下菱形SU-8腔体(4)包括：内层下菱形SU-8主体结构(21)、内层下菱形SU-8腔体左卡槽(22)，连接关系为：内层下菱形SU-8腔体(4)通过内层下菱形SU-8腔体左卡槽(22)内嵌在下菱型镍丝腔体(17)。
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