[发明专利]汽化器、使用汽化器的各种装置以及汽化方法有效
| 申请号： | 200610095864.1 | 申请日： | 2002-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN1966762A | 公开（公告）日： | 2007-05-23 |
| 发明（设计）人： | 都田昌之;楠原昌树;梅田优;深川满 | 申请（专利权）人： | 株式会社渡边商行;都田昌之 |
| 主分类号： | C23C16/448 | 分类号： | C23C16/448;C23C16/52 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡洪贵 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种可长期使用而不会阻塞、并且能够向反应部稳定供给原料的汽化器包括分散部(8)，所述分散部包括：形成在分散部本体(1)内部的气体通道(2)，将加压运载气体(3)引入气体通道(2)的气体入口(4)，将原料溶液(5)供给到流过气体通道(2)的运载气体的装置(6)，将包括原料溶液(5)的运载气体送到汽化部(22)的气体出口(7)，和用于冷却在气体通道(2)内流动的运载气体的装置(18)；用于加热和汽化从分散部送来的包括雾化的原料溶液的运载气体的汽化部(22)，所述汽化部包括其一端与诸如沉积装置的各种装置的反应部连接、另一端与所述气体出口(7)连接的汽化管(20)，和用于加热汽化管(20)的加热装置(21)；以及安装在所述气体出口(7)外侧的具有小孔(101)的防辐射部件(102)。 | ||
| 搜索关键词： | 汽化器 使用 各种 装置 以及 汽化 方法 | ||
【主权项】：
1、一种汽化方法，所述汽化方法包括如下步骤：将原料溶液引入气体通道；通过将运载气体喷射到引入的原料溶液使原料溶液受到剪切作用/雾化，以获得原料薄雾；以及将原料薄雾供给到汽化部以使它汽化；其中：运载气体被制成包括氧气。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
