[发明专利]涂覆装置及其操作方法有效
| 申请号： | 200610091844.7 | 申请日： | 2006-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN1892429A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 朴正权;李昇凡;陈尚萤 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孙海龙 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种用于在对基板涂覆树脂期间防止基板上的杂质以及残留在基板底部的载物台上的杂质对非旋转涂覆机的喷嘴的损伤的涂覆装置及其操作方法。该涂覆装置包括载物台、喷嘴、喷嘴清洁器以及载物台清洁器。载物台用于在其上放置基板。喷嘴将树脂排放到基板上来执行涂覆。喷嘴清洁器清洁喷嘴。载物台清洁器清洁载物台。所述操作方法包括以下步骤：从载物台顶部移除经涂覆的第一基板；利用载物台清洁器清洁载物台；将待涂覆的第二基板引入到清洁后的载物台上；以及通过喷嘴将树脂排放到第二基板上且涂覆第二基板。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
1、一种涂覆装置，包括：载物台，用于在其上放置基板；喷嘴，用于将树脂排放到基板上来执行涂覆；喷嘴清洁器，用于清洁喷嘴；以及载物台清洁器，用于清洁载物台。
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