[发明专利]荧光X射线分析装置和其所采用的程序有效
申请号: | 200610083463.4 | 申请日: | 2006-05-30 |
公开(公告)号: | CN1877312A | 公开(公告)日: | 2006-12-13 |
发明(设计)人: | 河原直树;原真也;堂井真 | 申请(专利权)人: | 理学电机工业株式会社 |
主分类号: | G01N23/223 | 分类号: | G01N23/223;G01N23/22 |
代理公司: | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人: | 刘激扬 |
地址: | 日本国大阪府*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的课题在于提供一种荧光X射线分析装置等,其可针对包含多个非测定元素的无法指定其原子序数的各种试样,在更宽的适合范围内充分而正确地进行分析。设置算出机构,其根据假定的元素的浓度计算由试样中的各元素产生的2次X射线的理论强度,按照该理论强度和通过检测机构测定的测定强度一致的方式,对上述假定的元素的浓度进行最佳化计算,算出试样的元素的浓度,上述算出机构针对不测定荧光X射线的非测定元素假定多个非测定元素的浓度,并且代替从试样中的非测定元素产生的2次X射线,采用其数量至少与假定浓度的非测定元素相同的1次X射线的散射线,所采用的1次X射线的散射线包含用试样散射之前的波长不同的散射线。 | ||
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【主权项】:
1.一种荧光X射线分析装置,该荧光X射线分析装置包括:向试样照射1次X射线的X射线源;测定从试样产生的2次X射线的强度的检测机构;算出机构,该算出机构根据假定的元素的浓度,计算由试样中的各元素产生的2次X射线的理论强度,按照该理论强度和通过上述检测机构测定的测定强度一致的方式,对上述假定的元素的浓度进行最佳化计算,算出试样的元素的浓度;其特征在于上述算出机构针对不测定荧光X射线的非测定元素,假定多个非测定元素的浓度,并且代替从试样中的非测定元素产生的2次X射线,采用其数量至少与假定浓度的非测定元素相同的1次X射线的散射线,所采用的1次X射线的散射线包含用试样散射之前的波长不同的散射线。
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