[发明专利]过程气体泄漏源检测系统与方法

摘要

一种过程气体泄漏源检测系统。一开放路径式傅立叶转换红外光谱仪检测系统设置于该厂半导体制造厂的回风处，用以检测泄漏气体，并且通过一通信网络将检测所得的气体成份信息传送至该数据服务器。一多采样孔与抽气式傅立叶转换红外光谱仪检测系统设置于该厂半导体制造厂内，用以利用设置于该厂半导体制造厂内的不同区域的管线收集并检测泄漏气体，并且通过该通信网络将检测所得的气体成份信息传送至该数据服务器。一红外光谱仪监测系统通过该通信网络自该数据服务器取得该气体成份信息。一过程尾气管理系统通过该通信网络自该红外光谱仪监测系统取得该气体成份信息以进行可能泄漏来源的分析处理与判断。

主权项

1.一种过程气体泄漏源检测系统，其适用于一制造厂的过程控制，包括：一数据服务器；一开放路径式傅立叶转换红外光谱仪检测系统，其设置于所述制造厂的回风处，用以检测泄漏气体，并且通过一通信网络将检测所得的气体成份信息传送至所述数据服务器；一多采样孔与抽气式傅立叶转换红外光谱仪检测系统，其设置于所述制造厂内，用以利用设置于所述制造厂内的不同区域的管线收集并检测泄漏气体，并且通过所述通信网络将检测所得的气体成份信息传送至所述数据服务器；一红外光谱仪监测系统，用以通过所述通信网络自所述数据服务器取得所述气体成份信息；以及一过程尾气管理系统，用以通过所述通信网络自所述红外光谱仪监测系统取得所述气体成份信息以进行泄漏来源的分析处理与判断。